Circuit integre avec revetement antireflets

Integrated circuit with antireflective coating

Abstract

A method and a material for creating an antireflective coating on an integrated circuit. A preferred embodiment comprises applying a dark polymer material on a reflective surface (205), curing the dark polymer material (210), and roughening a top surface of the dark polymer material (215). The roughening can be achieved by ashing the dark polymer material in an ash chamber. The dark polymer material, preferably a black matrix resin or a polyimide black matrix resin, when ashed in an oxygen rich atmosphere for a short period of time, forms a surface that is capable of absorbing light as well as randomly refracting light it does not absorb. A protective cap layer may be formed on top of the ashed dark polymer material to provide protection for the dark polymer material (220).
Procédé et matériau permettant de créer un revêtement antireflets sur un circuit intégré. Un mode de réalisation préféré consiste à appliquer un matériau polymère sombre sur une surface réfléchissante (205), à cuire le matériau polymère sombre (210), et à dépolir le dessus du matériau polymère sombre (215). Le dépolissage peut s'obtenir en calcinant le matériau polymère sombre dans une chambre à calcination. Le matériau polymère sombre, de préférence une résine matricielle noire éventuellement en polyimide, forme après calcination dans une atmosphère riche en oxygène pendant un court laps de temps, une surface capable d'absorber la lumière de même que de renvoyer de façon aléatoire la lumière non absorbée. On peut former une couche de protection au-dessus du matériau polymère sombre calciné pour assurer la protection du matériau polymère sombre (220).

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Patent Citations (3)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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